机器视觉光学自动检测技术
发布者:泉州科技大市场
项目来源:泉州师范学院
更新时间:
类别:科技成果
所属领域:新一代信息技术
技术成熟度:小试
专利号:无
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技术成果简介
采用人工目视检测、手工挑选的办法进行晶粒筛选,存在主观性强、人眼空间分辨率有限、不确定性大、效率低、人力成本高等缺点,限制了半导体致冷器件性能和产量的进一步提高,已经无法满足现代工业高速、高精度的指标要求,成为制约企业发展的主要瓶颈之一。 本项目基于机器视觉的图像处理算法和深度学习新技术,采用Linux系统和人机交互操作UI界面,通过第1工位实现晶粒3维尺寸同时成像检测,通过第2和第3工位实现晶粒4个面缺陷同时成像检测,并采用光纤传感器的振动盘料满停机装置,以及精确的晶粒运动定位与采集同步控制,实现了对半导体晶粒(尺寸1.32*1.32*2.10mm)8粒/秒的匀速送料与检测,检测准确率达90%以上,检测精度达20um,解决了半导体晶粒人工检测容易产生漏检、检测准确率低、检测效率低、检测成本高等问题,实现一台半导体晶粒筛选机可以替换5-6个检测员工的产能,有望提高企业生产效率,降低人力成本,提升产品质量,助力企业转型升级。
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