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机器视觉光学自动检测技术

发布者：泉州科技大市场

项目来源：泉州师范学院

更新时间：

类别：科技成果

所属领域：新一代信息技术

技术成熟度：小试

专利号：无

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技术成果简介

采用人工目视检测、手工挑选的办法进行晶粒筛选，存在主观性强、人眼空间分辨率有限、不确定性大、效率低、人力成本高等缺点，限制了半导体致冷器件性能和产量的进一步提高，已经无法满足现代工业高速、高精度的指标要求，成为制约企业发展的主要瓶颈之一。本项目基于机器视觉的图像处理算法和深度学习新技术，采用Linux系统和人机交互操作UI界面，通过第1工位实现晶粒3维尺寸同时成像检测，通过第2和第3工位实现晶粒4个面缺陷同时成像检测，并采用光纤传感器的振动盘料满停机装置，以及精确的晶粒运动定位与采集同步控制，实现了对半导体晶粒（尺寸1.32*1.32*2.10mm）8粒/秒的匀速送料与检测，检测准确率达90%以上，检测精度达20um，解决了半导体晶粒人工检测容易产生漏检、检测准确率低、检测效率低、检测成本高等问题，实现一台半导体晶粒筛选机可以替换5-6个检测员工的产能，有望提高企业生产效率，降低人力成本，提升产品质量，助力企业转型升级。